​事業内容

​ドライエッチング装置の保守メンテナンスおよび、トラブルシューティング、装置トレーニングなども弊社にお任せ下さい。

先ずはお客様のお困りごとをヒアリングさせて
頂き、的確なアドバイスならびにサポートをい
たします。

​ドライエッチャーの装置立ち下げ、ファシリティラインの切り離し・無害化など各種対応可能でございます。

SEM／TEM向け特殊ホルダーについて、お困りごとがあればお気軽にご相談下さい。

各種部品修理および販売も取り扱っております。排気配管・ガスライン・ヒーターなど、お客様のご要望に応じて製作可能となっております。

ESD(Electric Static Discharge) 半導体の後工程などで問題視されている、静電気放電対策について専門アドバイザーとともにお客様の困りごとを解決いたします。